Konfokalmikroskope

VT 6000-Serie – konfokale Mikroskopie für hochauflösende Oberflächen- und Stufenmessung.

Serien: 1
Modelle: 4

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Typische Anwendungen

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Halbleiter
Materialforschung
MEMS
Medizintechnik
Große Wafer
Große Substrate

VT 6000. Konfokale Laserscanning-Mikroskope für hochauflösende Oberflächen-, Stufen- und Breitenmessung.

Wiederholgenauigkeit Stufe: 12 nm (1σ)
Genauigkeit ±(0,2+L/100) µm
Anzeigeauflösung 0,1 nm
Motorisierter Objektivrevolver

Tragfähigkeit: 10 kg

4 Modelle in dieser Serie. Detaillierter Vergleich unten.

ModellTragfähigkeit

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