VT 6300
VT 6000Großes Konfokalmikroskop mit 300 × 300 mm XY-Verfahrbereich.
Ohne VertragsbindungKauf, Leasing & Mietkauf
Vorteile
- Größter Verfahrbereich
- Wiederholgenauigkeit 12 nm (1σ)
- Für große Substrate
Eckdaten
| Sichtfeld | 120×120 µm – 2,4×2,4 mm |
|---|---|
| Wiederholgenauigkeit Stufe (1σ) | 12 nm |
| Genauigkeit Stufe | ±(0,2+L/100) µm |
| Anzeigeauflösung | 0,1 nm |
| Verfahrbereich XY | 300 × 300 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Abmessungen (L × B × H) | 1.000 × 900 × 1.500 mm |
| Gewicht | 500 kg |
Anwendungen
Große Substrate, Displays, Solarindustrie