VT 6200
Konfokalmikroskop mit 200 × 200 mm XY-Verfahrbereich für größere Proben.
Auf einen Blick
| Sichtfeld | 120×120 µm – 2,4×2,4 mm |
| Wiederholgenauigkeit Stufe (1σ) | 12 nm |
| Genauigkeit Stufe | ±(0,2+L/100) µm |
| Anzeigeauflösung | 0,1 nm |
| Verfahrbereich XY | 200 × 200 mm |
Vorteile. Das macht den Unterschied.
- Großer Verfahrbereich
- Wiederholgenauigkeit 12 nm (1σ)
- Hohe Genauigkeit
Anwendungen. Passt das zu Ihrem Bedarf?
HalbleiterGroße WaferMaterialforschung
Eckdaten. Alle technischen Details.
| Sichtfeld | 120×120 µm – 2,4×2,4 mm |
|---|---|
| Wiederholgenauigkeit Stufe (1σ) | 12 nm |
| Genauigkeit Stufe | ±(0,2+L/100) µm |
| Anzeigeauflösung | 0,1 nm |
| Verfahrbereich XY | 200 × 200 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Abmessungen (L × B × H) | 720 × 580 × 1.500 mm |
| Gewicht | 400 kg |
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Leasing
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