SuperView W3
Großes 3D-Weißlichtinterferometer mit Verfahrbereich 300 × 300 mm.
Auf einen Blick
| Objekttisch-Größe | 450 × 450 mm |
| Verfahrbereich XY | 300 × 300 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Standard-Sichtfeld | 0,98 × 0,98 mm |
| Wiederholbarkeit Rauheit RMS | 0,005 nm |
Vorteile. Das macht den Unterschied.
- Großer Verfahrbereich 300 × 300 mm
- RMS Wiederholbarkeit 0,005 nm
- Für große Proben
Anwendungen. Passt das zu Ihrem Bedarf?
Große ProbenWaferGlassubstrate
Eckdaten. Alle technischen Details.
| Objekttisch-Größe | 450 × 450 mm |
|---|---|
| Verfahrbereich XY | 300 × 300 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Standard-Sichtfeld | 0,98 × 0,98 mm |
| Wiederholbarkeit Rauheit RMS | 0,005 nm |
| Genauigkeit Stufenmessung | 0,3 % |
| Abmessungen (L × B × H) | 1.000 × 900 × 1.500 mm |
| Gewicht | 630 kg |
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